氣(qi)相(xiang)沉積(ji)按形成(cheng)的(de)(de)(de)基本原(yuan)理，分為化學氣(qi)相(xiang)沉積(ji)（CVD）和(he)物理氣(qi)相(xiang)沉積(ji)（PVD）。氣(qi)相(xiang)沉積(ji)是在工(gong)件(jian)表(biao)(biao)(biao)面覆蓋(gai)一層(ceng)(ceng)(ceng)厚度為0.5～10μm的(de)(de)(de)過(guo)渡族(zu)元素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形成(cheng)的(de)(de)(de)化合(he)物，或單一的(de)(de)(de)金屬及(ji)非金屬涂層(ceng)(ceng)(ceng)，使零件(jian)表(biao)(biao)(biao)層(ceng)(ceng)(ceng)改(gai)變化學成(cheng)分，并(bing)在其表(biao)(biao)(biao)面形成(cheng)功能性（例如(ru)超(chao)硬耐磨層(ceng)(ceng)(ceng)）或裝飾性的(de)(de)(de)化合(he)物涂層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)新技(ji)術，現(xian)已廣(guang)泛應用于各類零件(jian)的(de)(de)(de)硬化處理。沉積(ji)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)主要類別(bie)及(ji)特性見表(biao)(biao)(biao)3-38。
主要應用的沉積層(ceng)(ceng)TiC、TiN涂層(ceng)(ceng)有(you)以下特點(dian)：
a. 涂層有很(hen)高的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自(zi)潤滑性(xing)能，所以抗磨粒磨損性(xing)能良好。
b. 涂(tu)層(ceng)具有(you)很高的熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學(xue)穩定性好，基體金(jin)屬在涂(tu)層(ceng)中(zhong)的溶解度小，摩擦因(yin)(yin)數較低(di)，因(yin)(yin)而具有(you)很高的抗粘(zhan)著磨損能力，使用(yong)中(zhong)發生冷焊和咬合(he)的傾(qing)向也很小，而且TiN比(bi)TiC更好。
c. 涂層有較強的耐蝕(shi)性，TiC涂層在硫酸、鹽酸、氯化鈉水溶液中的耐蝕(shi)性良好，而(er)且(qie)TiN的耐蝕(shi)性一般都比TiC更好一些(xie)。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
