氣(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)按形成(cheng)的(de)(de)基本原理，分為(wei)化(hua)學(xue)氣(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)（CVD）和物理氣(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)（PVD）。氣(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)是(shi)在(zai)工(gong)件表(biao)面覆蓋一(yi)層(ceng)(ceng)厚度為(wei)0.5～10μm的(de)(de)過渡族元(yuan)素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形成(cheng)的(de)(de)化(hua)合(he)(he)物，或(huo)單一(yi)的(de)(de)金屬及非金屬涂(tu)層(ceng)(ceng)，使零件表(biao)層(ceng)(ceng)改變化(hua)學(xue)成(cheng)分，并(bing)在(zai)其(qi)表(biao)面形成(cheng)功能性(xing)（例(li)如超硬耐(nai)磨層(ceng)(ceng)）或(huo)裝飾(shi)性(xing)的(de)(de)化(hua)合(he)(he)物涂(tu)層(ceng)(ceng)的(de)(de)新技術，現已(yi)廣泛應(ying)用于(yu)各類零件的(de)(de)硬化(hua)處理。沉(chen)(chen)積(ji)層(ceng)(ceng)的(de)(de)主(zhu)要類別及特性(xing)見表(biao)3-38。
主要(yao)應用的沉積層TiC、TiN涂層有(you)以(yi)下特點：
a. 涂(tu)層有很高的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自(zi)潤滑性能(neng)，所以抗(kang)磨(mo)粒磨(mo)損(sun)性能(neng)良(liang)好。
b. 涂層具有很(hen)高的(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩定(ding)性(xing)好(hao)，基體金屬在涂層中(zhong)的(de)溶解度小(xiao)，摩(mo)擦因數較(jiao)低，因而具有很(hen)高的(de)抗(kang)粘著磨(mo)損能力(li)，使用中(zhong)發生冷焊和咬合(he)的(de)傾向(xiang)也很(hen)小(xiao)，而且TiN比TiC更好(hao)。
c. 涂(tu)(tu)層有較強(qiang)的耐蝕(shi)性，TiC涂(tu)(tu)層在硫(liu)酸、鹽酸、氯化鈉水溶液中的耐蝕(shi)性良好，而且TiN的耐蝕(shi)性一般(ban)都比TiC更好一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
