氣相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)按形成(cheng)(cheng)的基(ji)本(ben)原理(li)，分為(wei)化學(xue)氣相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)（CVD）和物理(li)氣相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)（PVD）。氣相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)是在(zai)工(gong)件(jian)(jian)表面覆蓋一層(ceng)厚度為(wei)0.5～10μm的過渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等）與C、N、O、B等形成(cheng)(cheng)的化合(he)物，或(huo)單一的金屬(shu)及非(fei)金屬(shu)涂層(ceng)，使零件(jian)(jian)表層(ceng)改變化學(xue)成(cheng)(cheng)分，并在(zai)其表面形成(cheng)(cheng)功能性(xing)（例如(ru)超硬耐磨(mo)層(ceng)）或(huo)裝飾(shi)性(xing)的化合(he)物涂層(ceng)的新技術(shu)，現已廣泛應用于(yu)各類零件(jian)(jian)的硬化處理(li)。沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)層(ceng)的主要類別(bie)及特性(xing)見表3-38。
主要應用的沉積(ji)層(ceng)TiC、TiN涂(tu)層(ceng)有(you)以下特點：
a. 涂(tu)層有很高的(de)硬度(du)（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的(de)摩擦因數和自潤滑性能，所以抗(kang)磨粒磨損性能良好(hao)。
b. 涂(tu)層具有(you)很(hen)(hen)高的(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩定性好，基體金屬在涂(tu)層中的(de)溶解度小，摩擦因數較(jiao)低，因而(er)具有(you)很(hen)(hen)高的(de)抗(kang)粘(zhan)著磨損能力(li)，使用中發生冷焊和咬(yao)合的(de)傾向也很(hen)(hen)小，而(er)且TiN比TiC更好。
c. 涂層(ceng)有較強的(de)耐蝕(shi)性(xing)，TiC涂層(ceng)在硫酸(suan)、鹽酸(suan)、氯化鈉水(shui)溶液(ye)中的(de)耐蝕(shi)性(xing)良(liang)好(hao)，而且TiN的(de)耐蝕(shi)性(xing)一(yi)般都(dou)比TiC更好(hao)一(yi)些(xie)。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
