氣相(xiang)沉(chen)積(ji)按(an)形(xing)成(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)基本原理(li)，分為(wei)化(hua)(hua)學氣相(xiang)沉(chen)積(ji)（CVD）和物(wu)理(li)氣相(xiang)沉(chen)積(ji)（PVD）。氣相(xiang)沉(chen)積(ji)是在(zai)工件表面覆蓋一層(ceng)(ceng)(ceng)厚度為(wei)0.5～10μm的(de)(de)(de)過(guo)渡族(zu)元素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)成(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)化(hua)(hua)合物(wu)，或單(dan)一的(de)(de)(de)金屬(shu)及非金屬(shu)涂層(ceng)(ceng)(ceng)，使零件表層(ceng)(ceng)(ceng)改(gai)變化(hua)(hua)學成(cheng)(cheng)分，并(bing)在(zai)其表面形(xing)成(cheng)(cheng)功能(neng)性(xing)（例如超(chao)硬耐磨(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)）或裝飾性(xing)的(de)(de)(de)化(hua)(hua)合物(wu)涂層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)新技術，現(xian)已廣泛(fan)應用(yong)于各(ge)類(lei)零件的(de)(de)(de)硬化(hua)(hua)處理(li)。沉(chen)積(ji)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)主要類(lei)別及特性(xing)見表3-38。
主要(yao)應用的沉積層TiC、TiN涂層有(you)以下特點：
a. 涂層(ceng)有很(hen)高的硬(ying)度(du)（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自潤滑性(xing)能，所以抗(kang)磨粒磨損性(xing)能良(liang)好。
b. 涂層(ceng)具(ju)有(you)很高的(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學(xue)穩定性好，基體金屬(shu)在涂層(ceng)中的(de)溶(rong)解度小(xiao)，摩擦(ca)因(yin)(yin)數較低，因(yin)(yin)而具(ju)有(you)很高的(de)抗粘(zhan)著磨損能力(li)，使用中發生冷焊和咬合的(de)傾向也很小(xiao)，而且TiN比TiC更好。
c. 涂層(ceng)有(you)較(jiao)強的(de)耐(nai)蝕性(xing)(xing)，TiC涂層(ceng)在硫酸、鹽(yan)酸、氯化鈉水溶液中的(de)耐(nai)蝕性(xing)(xing)良好，而(er)且TiN的(de)耐(nai)蝕性(xing)(xing)一般(ban)都比TiC更(geng)好一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
