氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)按形(xing)成(cheng)的(de)基(ji)本原(yuan)理，分為(wei)化學氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)（CVD）和物理氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)（PVD）。氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)是(shi)在(zai)工件(jian)表(biao)面(mian)覆蓋一層厚度為(wei)0.5～10μm的(de)過渡族(zu)元(yuan)素（Ti、V、Cr、W、Nb等）與C、N、O、B等形(xing)成(cheng)的(de)化合物，或單一的(de)金屬及非金屬涂層，使零件(jian)表(biao)層改變(bian)化學成(cheng)分，并在(zai)其表(biao)面(mian)形(xing)成(cheng)功能(neng)性（例如超硬(ying)耐磨層）或裝飾性的(de)化合物涂層的(de)新技術，現已廣泛應用于各類零件(jian)的(de)硬(ying)化處理。沉積(ji)層的(de)主要類別及特性見表(biao)3-38。
主要(yao)應用(yong)的沉積層TiC、TiN涂層有以(yi)下特(te)點(dian)：
a. 涂層有(you)很高的硬度(du)（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦(ca)因數(shu)和(he)自潤滑性(xing)能(neng)，所以抗磨粒磨損性(xing)能(neng)良(liang)好。
b. 涂層具有(you)很高(gao)的(de)熔點(dian)（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學(xue)穩定性好，基體金屬在涂層中的(de)溶解度小(xiao)，摩擦因數(shu)較低，因而(er)具有(you)很高(gao)的(de)抗粘著磨損能力，使用(yong)中發生冷焊(han)和咬合的(de)傾向(xiang)也很小(xiao)，而(er)且(qie)TiN比TiC更(geng)好。
c. 涂層有較(jiao)強(qiang)的耐蝕(shi)性，TiC涂層在硫酸、鹽酸、氯化(hua)鈉水溶液中的耐蝕(shi)性良好(hao)，而且TiN的耐蝕(shi)性一(yi)般都比TiC更好(hao)一(yi)些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
