表面氣相沉積強化工藝技術特點
氣相(xiang)(xiang)沉(chen)積按形成的(de)(de)基本原理,分為化(hua)(hua)學氣相(xiang)(xiang)沉(chen)積(CVD)和物(wu)理氣相(xiang)(xiang)沉(chen)積(PVD)。氣相(xiang)(xiang)沉(chen)積是在(zai)工件(jian)表面覆(fu)蓋一(yi)層厚度為0.5~10μm的(de)(de)過渡族元(yuan)素(Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)(deng))與(yu)C、N、O、B等(deng)(deng)形成的(de)(de)化(hua)(hua)合物(wu),或(huo)單一(yi)的(de)(de)金(jin)屬及非金(jin)屬涂層,使零件(jian)表層改變化(hua)(hua)學成分,并在(zai)其表面形成...