表面氣相沉積強化工藝技術特點
氣(qi)相(xiang)沉積(ji)按形(xing)成的(de)基本(ben)原理,分(fen)為(wei)化(hua)學氣(qi)相(xiang)沉積(ji)(CVD)和物理氣(qi)相(xiang)沉積(ji)(PVD)。氣(qi)相(xiang)沉積(ji)是在工(gong)件表面覆(fu)蓋(gai)一層(ceng)厚度為(wei)0.5~10μm的(de)過(guo)渡(du)族元(yuan)素(Ti、V、Cr、W、Nb等)與C、N、O、B等形(xing)成的(de)化(hua)合物,或單一的(de)金屬及非金屬涂層(ceng),使零件表層(ceng)改變化(hua)學成分(fen),并在其表面形(xing)成...