表面氣相沉積強化工藝技術特點
氣相沉積按形(xing)成(cheng)的(de)基(ji)本原理,分(fen)為化(hua)學氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)。氣相沉積是在(zai)工(gong)件表(biao)面覆(fu)蓋一(yi)層厚度為0.5~10μm的(de)過渡族元素(Ti、V、Cr、W、Nb等(deng))與(yu)C、N、O、B等(deng)形(xing)成(cheng)的(de)化(hua)合物,或單(dan)一(yi)的(de)金屬(shu)及(ji)非金屬(shu)涂(tu)層,使零件表(biao)層改變化(hua)學成(cheng)分(fen),并在(zai)其表(biao)面形(xing)成(cheng)...